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四甲基氢氧化铵TMAH浓度在线监测仪在半导体行业

发布日期:2021-07-03 13:20 浏览次数: 发布者:四甲基氢氧化铵

四甲基氢氧化铵TMAH浓度在线监测仪在半导体行业应用介绍
 
  四甲基氢氧化铵(TMAH),在电子行业中广泛用作FT-LCD、IC正胶显影剂、硅晶蚀刻剂、CMP过程超纯清洗剂,同时也是液晶显示器中的显像液。随着电子工业日新月异的发展,PCB技术也在飞速发展。作为PCB图形成像之关键工序——显影,直接影响着线路品质及阻焊的品质,显影的品质要求不能有显影不净,不能有显影过度,不能有掉线和绿油脱落等,显影露铜点50% ~ 60%(一半显影段)。因此显影液浓度的控制对显影工序起着非常重要的作用。
 
  例如:根据工艺要求需要将现存的浓度为20%的TMAH洁净液稀释到目标浓度2.48%,需要在线仪表提供准确TMAH浓度测量,已达到配置目标浓度显影液的目的。目前国内常用采样后分析系统测量TMAH的浓度,测量过程大概需要20分钟时间,该方式不具备实时性,过程管道的浓度变化无法及时监测到,导致调控滞后。为了提高生产量,显影液的配对效率需要提高,缩短配比的时间,需要在线实时对TMAH的浓度进行监控,完善工艺控制要求。采用折光原理的TMAH在线浓度仪能够满足在线检测要求,且测量精度高。
  四甲基氢氧化铵(TMAH)在线浓度计利用折光的原理测得溶液的折光率,折光率与TMAH溶液的浓度有极好的对应关系。通过换算从而得到溶液的实际浓度。这种测量原理稳定性好,精度高,它适用于管道安装或容器壁处的安装,以及其它等多种安装方式。