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四甲基氢氧化铵(TMAH)的用途

发布日期:2021-07-07 10:00 浏览次数: 发布者:四甲基氢氧化铵(

1、作为集成电路(IC)行业、液晶显示器行业(TFT-LCD)、光电子(LED)行业的显影液。
TMAH是一种有机碱,一方面它和无机碱一样具有强碱性,另一方面它具有其独特的特性,即在使用过程中不会留下金属离子,加热后可以分解成三甲胺气体和甲醇气体且不留任何痕迹,可广泛应用于现代电子行业。显影液的主要成分是碱,原来使用的碱是无机碱KOH,随着科技的进步,集成电路的设计制造需满足各种复杂的工艺条件,对化学品杂质要求越来越苛刻。之前用的显影液是KOH等无机碱,显影后需要用大量的水进行冲洗基板,最终还不能保证K+ 能够彻底冲洗干净。金属离子的过度残留就无法满足一些苛刻的工艺条件,如单个制造单元中电子元器件的数量越来越多,线宽越来越窄,成为制约电子行业发展的一个不容忽视的瓶颈,而TMAH正好克服了KOH的缺点,无金属离子,高温分解无残留。
因此TMAH是目前使用最普遍且性能最优的显影液。已取代无机碱(KOH、NAOH)广泛用于集成电路(IC)行业、液晶显示器行业(TFT-LCD)、光电子行业。
2、清洗剂:PCB等电子行业清洗剂,TMAH具有良好的清洗效果且无残留。
3、工业用催化剂(相转移催化剂,可以帮助反应物从一相转移到能够发生反应的另一相当中,从而加快异相系统反应速率的一类催化剂。一般存在相转移催化的反应,都存在水溶液和有机溶剂两相,离子型反应物往往可溶于水相,不溶于有机相,而有机底物则可溶于有机溶剂之中。不存在相转移催化剂时,两相相互隔离,几个反应物无法接触,反应进行得很慢。相转移催化剂的存在,可以与水相中的离子所结合,并利用自身对有机溶剂的亲和性,将水相中的反应物转移到有机相中,促使反应发生)。
TMAH作为季铵碱,在有机硅、橡胶防老剂领域是一种高效催化剂。